Equipements
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Sources laser nanoseconde
- laser à excimères KrF LPX 120i Lambda Physik : 17ns, 248nm, 400mJ, 1-200Hz ;
- laser à excimère ArF :
- laser Nd :YAG Coherent : 10ns, 1J à 1064nm, 500mJ à 532nm, 100mJ à 355nm, 10 Hz.
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Enceintes de dépôts
Retour dépôt par ablation laser
